[发明专利]一种超高纯度氧化亚氮的回收方法在审
| 申请号： | 201610436372.8 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN107512708A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 钟少勇;王新鹏;赵伟庆 | 申请（专利权）人： | 山东绿菱电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/22 | 分类号： | C01B21/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 274500 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高纯度氧化亚氮的回收方法，该包括如下步骤步骤S1，将含有氧化亚氮的尾气依次经过一级水洗装置和两级有机溶剂洗涤装置进行三级洗涤处理；步骤S2，将尾气经换热器进行冷却处理；步骤S3，将尾气依次经变压吸附装置和变温吸附装置进行两级吸附处理；步骤S4，将尾气依次经一级精馏塔和二级精馏塔进行两级精馏处理。由于本发明的各个步骤有机协同配合，因此能够彻底分离尾气中氧化亚氮，从而得到纯度不低于99.99999％的超高纯度氧化亚氮气体，不仅满足工业及实验室中对于超过纯度氧化亚氮的需求，而且大幅度减少了因氧化亚氮的排放而对环境造成的污染；本发明的方法将氧化亚氮回收利用，从而避免了浪费，节约了资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 纯度 氧化亚氮 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种超高纯度氧化亚氮的回收方法，其包括：步骤S1，将含有氧化亚氮的尾气依次经过一级水洗装置和两级有机溶剂洗涤装置进行三级洗涤处理；步骤S2，将尾气经换热器进行冷却处理；步骤S3，将尾气依次经变压吸附装置和变温吸附装置进行两级吸附处理；步骤S4，将尾气依次经一级精馏塔和二级精馏塔进行两级精馏处理。
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