[发明专利]超高反射镜的积分散射率/积分透射率高精度测量系统

摘要

本发明提出了一种超高反射镜的积分散射率/积分透射率高精度测量系统，用于解决现有技术精度和稳定性低及操作复杂的问题，包括光路控制模块、参数测量模块、基准测量模块和测量控制模块；其中光路控制模块，包括位于激光器主光轴上的汇聚凸透镜、光阑、轴向位移台控制的准直凸透镜、电机旋转台控制的偏振片组和分束镜；参数测量模块，包括积分球、位于积分球入光孔前的透射样品载样台、位于积分球内表面的散射样片载样台和光敏面紧贴有窄带滤波片的探测器；基准测量模块包括依次排布于次光路上的衰减片、窄带滤波片和探测器；测量控制模块包括依次连接的前置放大器、除法器、数据采集卡和计算机。本发明具有操作简单、测量稳定和精度高的优点。

主权项

1.一种超高反射镜的积分散射率/积分透射率高精度测量系统，包括：光路控制模块(1)、参数测量模块(2)、基准测量模块(3)和测量控制模块(4)；其中：光路控制模块(1)包括激光器(11)、汇聚凸透镜(12)、光阑(13)和分束镜(18)，所述汇聚凸透镜(12)、光阑(13)和分束镜(18)依次排布在激光器(11)的输出光路上，且中心与该激光器(11)的主光轴重合，其中光阑(13)位于汇聚凸透镜(12)的焦点处；参数测量模块(2)包括透射样品载样台(21)、积分球(25)、散射样品载样台(26)和第一探测器(23)，其中积分球(25)的入光孔位于激光器(11)的主光轴上；所述透射样品载样台(21)位于积分球(25)的入射端；所述散射样品载样台(26)位于积分球(25)的内表面；所述第一探测器(23)位于积分球(25)内表面；基准测量模块(3)包括衰减片(31)和第二探测器(33)，该衰减片(31)和第二探测器(33)位于分束镜(18)的次光路上；测量控制模块(4)包括依此相连的前置放大器(44)、数据采集卡(42)和计算机(41)；其特征在于：所述光阑(13)后依此设置有准直凸透镜(15)和偏振片组(17)，且其中心位于激光器(11)的主光轴上，通过轴向位移台(14)和电机旋转台(16)的控制，实现对激光光斑大小的调节和偏振态的调制；所述透射样品载样台(21)和散射样品载样台(26)用于安装待测超高反射镜，并分别通过透射样品位移台(22)和散射样品位移台(27)控制；所述第一探测器(23)的前端设置有第一窄带滤波片(24)，第二探测器(33)的前端设置有第二窄带滤波片(32)，用于过滤环境光；所述前置放大器(44)后连接有除法器(43)，用于对基准测量模块(3)的输出信号与前置放大器(44)的输出信号进行除法运算。