[发明专利]端口门定位装置及相关的方法

摘要

一种装载端口具有端口门和带开口的框体，所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中，活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中，静止的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在另一个实施例中，静止的关闭机构连接到端口门，并且活动的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在该两个实施例中，活动的关闭机构限定成与静止的关闭机构进行接合，使得活动的关闭机构与静止的关闭机构进行接合的运动在端口门与容器门之间施加闭合力。

主权项

1.一种用于装载端口的装置，包括：框体，该框体被限定成具有开口，当包括容器门的容器被定位成靠近所述框体时，所述容器门通过所述开口是可接近的，所述容器被构造为携载在所述容器内的至少一个工件，所述容器被构造为在整个半导体制造设施内传输；端口门，该端口门被构造为穿过所述框体的开口装配以与所述容器门进行交接；第一静止板形凸轮，该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体，所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道；第二静止板形凸轮，该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体，所述第二侧相对于所述框体的开口与所述第一侧相反，所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道，其中所述第一静止板形凸轮的第一通道相对于所述框体沿着所述框体的开口的第一侧的位置和所述第二静止板形凸轮的第二通道相对于所述框体沿着所述框体的开口的第二侧的位置使得能够控制如在水平面中测量的所述端口门和所述框体之间的角度；第一活动关闭机构，该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动，所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动；以及第二活动关闭机构，该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动，所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第二静止板形凸轮的第二通道内并且沿着所述第二静止板形凸轮的第二通道运动。