[发明专利]一种简易卧式磁控镀膜设备及其镀膜方法在审
| 申请号： | 201610415007.9 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN105970172A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 梁睦宇 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种简易卧式磁控镀膜设备，包括第一抽真空机组、第二抽真空机组、第三抽真空机组和依次连接的上片台、前清洗机、进片过渡架、进片真空室、轰击真空室、镀膜真空室、出片真空室、出片过渡架、覆膜段、烘烤段、风干段、后清洗机和下片台；镀膜真空室与第一抽真空机组连接，进片真空室和出片真空室均与第二抽真空机组连接，轰击真空室和第三抽真空机组连接。本发明还提供了简易卧式磁控镀膜设备的镀膜方法。本发明减小了使用厂房的空间，降低了生成成本，结构简单，操控方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 卧式 镀膜 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种简易卧式磁控镀膜设备，其特征在于：包括上片台、前清洗机、进片过渡架、进片真空室、轰击真空室、镀膜真空室、出片真空室、出片过渡架、覆膜段、烘烤段、风干段、后清洗机、下片台、第一抽真空机组、第二抽真空机组和第三抽真空机组；所述上片台、前清洗机、进片过渡架、进片真空室、轰击真空室、镀膜真空室、出片真空室、出片过渡架、覆膜段、烘烤段、风干段、后清洗机和下片台依次连接，所述镀膜真空室与第一抽真空机组连接，所述进片真空室和出片真空室均与第二抽真空机组连接，所述轰击真空室和第三抽真空机组连接；所述进片过渡架和进片真空室之间、进片真空室和轰击真空室和之间、轰击真空室和镀膜真空室之间、镀膜真空室和出片真空室之间及出片真空室和出片过渡架之间均设有真空气锁。
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