[发明专利]石墨烯/TiO2纳米柱阵列肖特基结紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯/TiO2纳米柱阵列肖特基结紫外光电探测器及其制备方法，其是在FTO玻璃的上表面生长有TiO2纳米柱阵列，阵列以FTO为欧姆接触电极；在TiO2纳米柱阵列的顶端设置有与阵列呈肖特基接触的石墨烯薄膜，在石墨烯薄膜上引出有与石墨烯薄膜呈欧姆接触的引出电极。本发明的紫外光电探测器利用排列规则的TiO2纳米柱阵列增大材料的表面积，同时利用石墨烯高透光率、低电阻率等优良特性，增强了对光的吸收，提高了对光的响应度，器件光吸收能力强、对紫外光感应灵敏、抗电磁干扰强，为二氧化钛纳米材料在光电探测器的应用中开拓了新的前景。

主权项

石墨烯/TiO2纳米柱阵列肖特基结紫外光电探测器，其特征在于：所述紫外光电探测器是在FTO玻璃(1)的上表面生长有TiO2纳米柱阵列(2)，所述TiO2纳米柱阵列以FTO为欧姆接触电极；在所述TiO2纳米柱阵列(2)的顶端设置有与所述TiO2纳米柱阵列(2)呈肖特基接触的石墨烯薄膜(3)，在所述石墨烯薄膜(3)上引出有与石墨烯薄膜呈欧姆接触的引出电极(4)。