[发明专利]一种异质结可饱和吸收镜及其制备方法、锁膜光纤激光器在审
申请号: | 201610387349.4 | 申请日: | 2016-06-02 |
公开(公告)号: | CN105896257A | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 闫培光;陈浩;王金章;邢凤飞 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01S3/098 | 分类号: | H01S3/098 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 王利彬 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于激光器技术领域,提供了一种异质结可饱和吸收镜,包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层;所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层,其中各可饱和吸收层的材料互不相同。本发明还提供了一种异质结可饱和吸收镜的制备方法,包括如下步骤:衬底制将衬底抛光;将所述衬底置于反应室内,采用CVD法在所述金膜层上依次镀上所述至少两层可饱和吸收层,形成异质结薄膜;在所述异质结薄膜表面镀上保护膜层。本发明提供的异质结可饱和吸收镜具有高损伤阈值,结构简单、成本低廉,可靠性高;制备方法简单,适于批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 异质结可 饱和 吸收 及其 制备 方法 光纤 激光器 | ||
【主权项】:
一种异质结可饱和吸收镜,其特征在于,包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层;所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层,其中各可饱和吸收层的材料互不相同。
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