[发明专利]一种激光剥离装置和方法有效
| 申请号： | 201610379077.3 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107452898B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 张俊;覃宗伟;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光剥离装置和方法，其中激光剥离装置包括：用于带动待剥离显示屏在其上运动的作业传送带，所述待剥离显示屏包括玻璃基板和柔性显示屏；具有透光区和遮光区的掩膜遮挡装置，其中透光区用于透射所述激光束的一部分而使其辐照在所述作业传送带带动的待剥离显示屏上，以对待剥离显示屏进行激光剥离，从而获得相互分离的柔性显示屏和玻璃基板；而遮光区用于遮挡所述激光束的其余部分，以阻止激光照射所述作业传送带上待剥离显示屏以外的区域。本发明这种激光剥离装置和方法能够兼容大屏和小屏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 剥离 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光剥离装置，包括用于提供激光束的光源系统，其特征在于该激光剥离装置还包括：用于带动待剥离显示屏在其上运动的作业传送带，所述待剥离显示屏包括玻璃基板和柔性显示屏；具有透光区和遮光区的掩膜遮挡装置，其中透光区用于透射所述激光束的一部分而使其辐照在所述作业传送带带动的待剥离显示屏上，以对待剥离显示屏进行激光剥离，从而获得相互分离的柔性显示屏和玻璃基板；而遮光区用于遮挡所述激光束的其余部分，以阻止激光照射所述作业传送带上待剥离显示屏以外的区域；其中所述掩膜遮挡装置相对于所述激光束保持静止；所述掩膜遮挡装置包括一镀铬掩模版，所述镀铬掩模版上具有由不同透光区和不同遮光区形成的尺寸不同的若干图形，所述掩膜遮挡装置具有与镀铬掩模版上的若干图形一一对应的若干工位。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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