[发明专利]振动热丝化学气相沉积设备及在金刚石涂层沉积中的用途

摘要

本发明提供了一种振动热丝化学气相沉积设备及在金刚石涂层沉积中的用途，该设备包括热丝工作台，其中，该热丝工作台的下表面中部固设有偏心轮室，该偏心轮室的外侧嵌套有冷却水槽，该冷却水槽的底部外侧嵌套有工作台底面法兰，该工作台底面法兰的底部固设有电机支架，该电机支架的底部外侧设有电动机，电机支架的底部内侧设有主动磁铁安装法兰，该主动磁铁安装法兰的内侧设有主动磁铁，该主动磁铁的内侧设有磁力耦合联轴器，该磁力耦合联轴器包括旋转轴，该旋转轴的尾端穿过偏心轮室后，与工作台面活动连接，且旋转轴上嵌套有偏心轮。本发明可显著提高各刀具不同部位的生长温度一致性，有效提高刀具涂层的均匀性、加工精度和刀具寿命。

主权项

1.一种振动热丝化学气相沉积设备，包括热丝CVD工作台，其特征在于，所述热丝CVD工作台的顶部和底部分别设有工作台面和工作台底部法兰，所述工作台面和工作台底部法兰之间设有偏心轮室，所述偏心轮室的外侧嵌套有冷却水槽，所述工作台底部法兰的底部外侧设有电机支架，所述电机支架的底部外侧和内侧分别设有电机和磁力耦合联轴器，所述电机和磁力耦合联轴器固定连接，所述磁力耦合联轴器包括从动磁铁安装法兰，所述从动磁铁安装法兰的内侧嵌套有旋转轴，所述旋转轴穿过工作台底面法兰向偏心轮室内延伸，并活动连接于工作台面的中央，旋转轴位于偏心轮室内的部分嵌套有偏心轮。