[发明专利]一种用于测试探针氧化的磨针清针系统及方法有效
| 申请号： | 201610357337.7 | 申请日： | 2016-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107436373B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 刘琦;陈致远;张如山 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测试探针卡探针氧化的磨针清针系统及方法。所述系统包括：探针测试单元，包括探针卡和设置于所述探针卡中的突出的探针；成像分析单元，包括设置于所述探针卡基板上的若干成像器件，成像器件对准所述探针的针尖，用于对所述探针进行成像并对所述探针的灰度进行分析；磨针清针单元，包括磨针设备和若干气体清洁设备，其中气体清洁设备正对所述探针，用于喷射气体清除所述探针上的杂物；控制单元，分别与所述成像分析单元和所述磨针清针单元通讯，用于控制所述成像分析单元对所述探针成像并进行灰度分析，控制所述磨针设备进行磨针处理，和控制所述气体清洁设备中气体的通断。本发明保证了测试效率，延长了针卡的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 探针 氧化 磨针清针 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测试探针氧化的磨针清针系统，其特征在于，所述系统包括：探针测试单元，包括探针卡和设置于所述探针卡中的突出的探针，用于晶圆测试；成像分析单元，包括设置于所述探针卡基板上的若干成像器件，所述成像器件对准所述探针的针尖，用于对所述探针进行成像并对所述探针的灰度进行分析；磨针清针单元，包括磨针设备和若干气体清洁设备，其中所述气体清洁设备正对所述探针，用于喷射气体清除所述探针上的杂物；控制单元，分别与所述成像分析单元和所述磨针清针单元通讯，用于控制所述成像分析单元对所述探针成像并进行灰度分析，控制所述磨针设备进行磨针处理，和控制所述气体清洁设备中气体的通断。
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