[发明专利]一种质量流量控制器的校准系统及方法有效
| 申请号： | 201610355240.2 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106054855B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;文强;黄彪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MFC的校准系统及方法，该方法包括如下步骤：将待校准的所有MFC电压接头处全部引出至一集成控制器，由该集成控制器控制所有MFC的控制开关；该集成控制器逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并获取各颗MFC测得的电压值；将获得的各颗MFC测得的电压值分别与预设的设定值进行比较，根据比较结果控制对应MFC的控制开关，通过本发明，可有效地节省MFC的校准时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mfc 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MFC的校准系统，包括：N颗质量流量控制器即MFC，各颗MFC的电压接头全部接于集成控制器，并由该集成控制器控制各MFC的控制开关；集成控制器，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，获取各颗MFC测得的电压值，并根据获得的各颗MFC的电压值控制对应MFC的控制开关。
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