[发明专利]一种模压工艺制作玻璃微流控芯片的方法和装置

摘要

本发明提出了一种模压工艺制作玻璃微流控芯片的方法和装置。利用各种机械加工或能束加工方法在模具钢、不锈钢、钨等高刚度、不易粘接的金属模具材料上制备出包含微流控芯片反结构的模芯，然后将玻璃预行体和模芯同时放入精密模压机内，采用标准的模压工艺(加热、加压、退火和冷却)，一次性在玻璃上加工出玻璃微流控芯片所需要的微结构。整个模压过程中无需使用传统的干法刻蚀和湿法刻蚀需要的试剂和设备，加工效率高(一次成型在8分钟内)、无需后续的处理、模压后的沟槽质量好，并且模芯变形小、寿命高、可以实现玻璃微流控芯片大批量的制备。

主权项

一种模压工艺制作玻璃微流控芯片的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用金属模具材料制备出包含微流控芯片的反结构的模芯；2)将玻璃预行体和模芯放入精密模压机内，采用模压工艺一次性在玻璃上加工出玻璃微流控芯片所需要的微结构。