[发明专利]一种去除钝化发射极背面接触太阳能电池皮带印的方法

摘要

本发明涉及一种去除PERC（钝化发射极背面接触）太阳能电池背面皮带印的方法，PERC太阳能电池制作工序步骤为P型基板清洗、三氯氧化磷扩散、刻蚀、钝化淀积、背面开孔、丝网印刷电极和共烧，其特征是，在刻蚀工艺下料前通过增加硅片翻转步骤，使得硅片正面朝下，由于硅片正面经扩散形成PN结后，正面具有表面场钝化保护的效果，硅片正面与传动滚轮或传输皮带接触都不会产生摩擦痕或皮带印，以此来去除电池背面的皮带印，本发明的方法不仅彻底解决了电池背面皮带印的问题，且改善了电池的电学特性，进一步节约了生产电池的成本。

主权项

一种去除钝化发射极背面接触太阳能电池皮带印的方法，PERC太阳能电池制作工序步骤为：P型基板清洗、三氯氧化磷扩散、刻蚀、钝化淀积、背面开孔、丝网印刷电极和共烧，其特征是，在刻蚀工艺下料前通过增加硅片翻转步骤，来去除电池背面的皮带印，刻蚀工艺的具体步骤如下：步骤一. 水膜覆盖（1）：在扩散后形成PN结的硅片表面喷涂定量纯水，水完整均匀地覆盖在硅片表面形成水膜；步骤二. 刻蚀（2）：将硅片置于氢氟酸和硝酸的混合溶液槽中，使溶液与硅片发生反应，去除扩散产生的硅片截面边缘的PN结；步骤三. 一次水洗（3）：将硅片置于清洗槽中，使用纯水进行漂洗，去除硅片表面残留的氢氟酸和硝酸混合溶液；步骤四. 碱洗（4）：将硅片置于氢氧化钠或氢氧化钾溶液槽中，去除硅片在刻蚀过程中产生的多孔硅；步骤五. 二次水洗（5）：将硅片置于清洗槽中，使用纯水进行漂洗，去除硅片表面残留的氢氧化钠或氢氧化钾溶液；步骤六. 酸洗（6）：将硅片置于氟化氢溶液槽中，去除硅片表面的金属离子；步骤七. 三次水洗（7）：将硅片置于清洗槽中，使用纯水进行漂洗，去除硅片表面残留的低浓度的氟化氢溶液；步骤八. 烘干（8）：使用压缩空气或氮气加热吹风将硅片表面吹干；步骤九. 硅片翻转（9）：硅片背面朝下，通过吸盘将硅片180度翻转；步骤十. 下料（10）：硅片正面朝下，通过传动滚轮传输至皮带上，并由皮带传输至承载盒内。