[发明专利]基于偏振的相干梯度感测系统和方法

摘要

本发明公开一种基于偏振的相干梯度感测系统及方法，用以测量镜面反射式平面的至少一个表面形状特性。所述方法包含反射来自样品平面的第一圆偏振激光光束以形成包含表面形状信息的第二圆偏振激光光束；将第二圆偏振激光光束转换为线偏振反射激光光束；将相应的线偏振反射激光束的第一部分及第二部分引导至第一中继组件及第二中继组件，第一、第二中继组件构成第一、第二干涉仪臂。第一和第二中继组件每个使用一对轴向间隔分离的光栅以将相应的第一和第二干涉图案产生在相应的图像传感器上。来自第一和第二图像传感器的相应的第一、第二信号被处理以确定至少一个表面形状特性。

主权项

一种测量镜面反射式平面的至少一个基于形状的特性的方法，包含：将具有第一圆偏振的准直激光束引导至样品平面；反射来自所述样品平面的所述准直激光束以形成反射激光束，所述反射激光束具有第二圆偏振且包含所述镜面反射式平面的形状信息；将具有所述第二圆偏振的所述反射激光束转换为线偏振反射激光束；将所述线偏振反射激光束的第一部分引导至具有第一定向的第一对轴向间隔分离的光栅，并形成两个第一衍射分量，以及结合所述两个第一衍射分量以在第一图像传感器上形成第一干涉图案；将所述线偏振反射激光束的第二部分引导至具有第二定向的第二对轴向间隔分离的光栅，并形成两个第二衍射分量，以及结合所述两个第二衍射分量以在第二图像传感器上形成第二干涉图案，所述第二定向正交于所述第一定向；以及处理所述第一干涉图案及所述第二干涉图案以确定所述镜面反射式平面的所述至少一个基于形状的特性。