[发明专利]蚀刻液酸浓度量测装置有效
| 申请号： | 201610338914.8 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105866049B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 徐蕊;张维维;夏振宇;林虹云;张小新;钟兴进 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液酸浓度量测装置，其包括控制器、分光光度计、蚀刻槽、参比池、检测器及溶液存储器；溶液存储器通过第一管道与所述蚀刻槽连通，溶液存储器通过第二管道与参比池连通；溶液存储器用于容纳蚀刻液；参比池用于参比液，控制器控制所述分光光度计同时光照蚀刻槽与参比池，控制器控制蚀刻液进入蚀刻槽与参比池的时间，并且控制器控制控制蚀刻槽内的蚀刻液与参比池内的参比液存在酸浓度差值；蚀刻槽与参比池均连通检测器，检测器用以检测经过分光光度计光照的蚀刻槽的蚀刻液与参比池的参比液所吸收的光的波长并转换成数据信号进行的对比。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 浓度 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液酸浓度量测装置，其特征在于，所述蚀刻液酸浓度量测装置包括控制器、分光光度计、蚀刻槽、参比池、检测器及溶液存储器；所述溶液存储器通过第一管道与所述蚀刻槽连通，所述溶液存储器通过第二管道与所述参比池连通；所述溶液存储器用于容纳蚀刻液；所述参比池用于参比液，所述控制器控制所述分光光度计同时光照所述蚀刻槽与参比池，所述蚀刻液酸浓度量测装置在初始状态，所述控制器控制所述参比池内容纳纯水，所述蚀刻槽容纳蚀刻液；当所述蚀刻槽内的蚀刻液完成第一次蚀刻，将所述参比池内的纯水及蚀刻槽的蚀刻液排除；所述控制器控制给所述参比池内引入蚀刻液后，再控制所述溶液存储器内的蚀刻液进入所述蚀刻槽；当所述蚀刻槽内的蚀刻液完成第二次蚀刻，所述控制器控制所述参比池内引入蚀刻液后，再控制所述溶液存储器内的蚀刻液进入所述蚀刻槽；其中，所述参比池内的蚀刻液的酸浓度与所述蚀刻槽内蚀刻液的酸浓度存在酸浓度差值；所述蚀刻槽与参比池均连通所述检测器，所述检测器用以检测经过分光光度计光照的蚀刻槽的蚀刻液与参比池的参比液所吸收的光的波长，并转换成数据信号进行对比。
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