[发明专利]用于提供与匹配网络联用的阻抗匹配模型的特性的系统和方法有效
| 申请号： | 201610338268.5 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN106169410B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·M·霍瓦尔德;布拉德福德·J·林达克尔;约翰·C·小瓦尔考;塞得·亚法·亚法莉安-特哈利 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,包孟如 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于用不同的阻抗匹配网络产生并使用阻抗匹配模型的特性的系统和方法。使用网络分析仪或传感器测量阻抗和/或功率效率。所述阻抗和/或功率效率用于确定所述特性。随着使用不同的阻抗匹配网络，所述特性的值被改变以针对多个环境实现跨越不同的等离子体工具的相同或相似的结果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提供 匹配 网络 联用 阻抗匹配 模型 特性 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于提供与匹配网络联用的阻抗匹配模型的特性的方法，包括：接收基准阻抗，其中所述基准阻抗是在传感器的频率操作范围和在耦合到负载的基准阻抗匹配网络内的一个或多个基准可变电容器相关联的位置范围下测得的，其中所述负载具有阻抗；访问阻抗匹配模型；当负载阻抗被施加到所述阻抗匹配模型的输出端，产生所述阻抗匹配模型的预定元件的一组基准特性，以实现在所述阻抗匹配模型的输入端的所述基准阻抗；接收试验阻抗，其中所述试验阻抗是在所述传感器的频率操作范围和在耦合到所述负载的试验阻抗匹配网络内的一个或多个试验可变电容器相关联的位置范围下测得的，其中所述基准阻抗匹配网络具有与所述试验阻抗匹配网络相同的部件布置；当所述负载阻抗被施加到所述阻抗匹配模型的输出端，产生所述阻抗匹配模型的预定元件的一组试验特性，以实现在所述阻抗匹配模型的输入端的试验阻抗；判定指示所述试验阻抗匹配网络被包括在等离子体工具中的信息或指示所述基准阻抗匹配网络被包括在所述等离子体工具中的信息是否被接收；在确定指示所述试验阻抗匹配网络被包括在所述等离子体工具中的信息被接收时，在具有所述试验阻抗匹配网络的所述等离子体工具中将所述一组试验特性施加到所述阻抗匹配模型以计算在所述阻抗匹配模型的所述输出端的一个或多个参数的一个或多个值；和一旦确定指示所述基准阻抗匹配网络被包括在所述等离子体工具中的信息被接收时，在所述等离子体工具中将所述一组基准特性施加到所述阻抗匹配模型以计算在所述阻抗匹配模型的输出端的一个或多个参数的一个或多个值。
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