[发明专利]一种三甲基铝的安全输送装置在审
| 申请号： | 201610330689.3 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106006525A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 龚小雷;潘高鹏;李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/72;B67D7/78;B67D7/32 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹;王婧 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三甲基铝的安全输送装置，其特征在于，包括三甲基铝源瓶，所述的三甲基铝源瓶分别连接第一推送气体入口管路、第一三甲基铝源出口管路、第一吹扫气源入口管路和第一排放出口管路。本发明能够彻底消除安全隐患，保证三甲基铝源供应的纯度，保证压力输出的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 甲基 安全 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种三甲基铝的安全输送装置，其特征在于，包括三甲基铝源瓶(1)，所述的三甲基铝源瓶(1)分别连接第一推送气体入口管路(1‑5)、第一三甲基铝源出口管路(1‑8)、第一吹扫气源入口管路(1‑6)和第一排放出口管路(1‑7)。
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