[发明专利]旋转基座的水平度调节机构及半导体加工设备

摘要

本发明提供的旋转基座的水平度调节机构及半导体加工设备，其包括调平座、多个调平作用杆和多个调平螺钉，其中，调平座用于支撑旋转轴。调平作用杆和调平螺钉一一对应地沿旋转轴的周向对称设置在调平座内，每个调平螺钉竖直设置，且与调平座螺纹连接。每个调平作用杆的内端面和外端面均为半球面，且分别与调平螺钉和旋转轴形成球面接触。通过调节任意一个调平螺钉相对于调平座在竖直方向上的高度，来调节旋转轴的水平度。调平作用杆与调平座之间具有配合结构，其满足：限制调平作用杆在其径向上的移动及其轴向上的旋转运动。本发明提供的旋转基座的水平度调节机构，其具有较好的结构稳定性，从而可以将旋转基座的水平度保持在良好的水平。

主权项

1.一种旋转基座的水平度调节机构，所述旋转基座包括用于承载被加工工件的基座和与之连接的旋转轴，其特征在于，所述水平度调节机构包括调平座、多个调平作用杆和多个调平螺钉，其中，所述调平座用于支撑所述旋转轴；所述调平作用杆和所述调平螺钉一一对应地沿所述旋转轴的周向对称设置在所述调平座内，其中，每个调平螺钉竖直设置，且与所述调平座螺纹连接；每个调平作用杆的内端面和外端面均为半球面，且分别与所述调平螺钉和所述旋转轴形成球面接触；通过调节任意一个调平螺钉相对于所述调平座在竖直方向上的高度，来调节所述旋转轴的水平度；所述调平作用杆与所述调平座之间具有配合结构，该配合结构满足：限制所述调平作用杆在其径向上的移动及其轴向上的旋转运动。