[发明专利]微机电系统装置有效
| 申请号： | 201610311685.0 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106167246B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | W·弗里扎;A·德厄 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在各个实施例中，提供了一种微机电系统装置。该微机电系统装置可以包括载体；粒子过滤器结构，该粒子过滤器结构耦合至载体，该粒子过滤器结构包括网格，其中网格包括多个网格单元，每个网格单元包括至少一个通孔；以及微机电系统结构，该微机电系统结构设置在粒子过滤器结构的与载体相对之侧。多个网格单元的高度大于对应网格单元的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，包括：载体，所述载体具有正侧和与所述正侧相反的背侧，所述载体包括空腔；粒子过滤器结构，所述粒子过滤器结构耦合至所述载体，并且设置在所述载体的所述正侧和所述背侧之间的所述空腔中，所述粒子过滤器结构包括网格，其中所述网格包括多个网格单元，每个网格单元包括至少一个通孔；以及微机电系统结构，所述微机电系统结构设置在所述载体的所述正侧上，其中所述微机电系统结构的面对所述载体的侧面至少部分地暴露于所述空腔；其中所述多个网格单元的高度大于对应的所述网格单元的宽度。
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