[发明专利]CF基板生产线及CF基板的制造方法有效
| 申请号： | 201610292844.7 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN105785637B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李兰艳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种CF基板生产线及CF基板的制造方法。本发明的CF基板生产线，通过在镀膜装置与第二清洗装置之间、或者第二清洗装置与烘烤装置之间增加一刻号装置，用于在基板上的导电膜层上刻出一标记图案，形成对位标记，与现有技术相比，避免了对镀膜基板的频繁搬送，提高产品良率，节约制程时间，降低生产成本。本发明的CF基板的制造方法，制程简单，避免了对镀膜基板的频繁搬送，提高产品良率，节约制程时间，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | cf 生产线 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种CF基板生产线，其特征在于，包括依次排列的第一清洗装置(10)、镀膜装置(20)、刻号装置(30)、第二清洗装置(40)、及烘烤装置(50)，还包括分布于第一清洗装置(10)与镀膜装置(20)之间、镀膜装置(20)与刻号装置(30)之间、刻号装置(30)与第二清洗装置(40)之间、及第二清洗装置(40)与烘烤装置(50)之间的运输装置(60)；所述第一清洗装置(10)用于在基板镀膜前对基板进行清洗；所述镀膜装置(20)用于在基板上镀上一导电膜层；所述刻号装置(30)用于在基板上的导电膜层上刻出一标记图案；所述第二清洗装置(40)用于对基板进行烘烤前的清洗；所述烘烤装置(50)用于对基板上的导电膜层进行烘烤退火处理；所述运输装置(60)用于使基板在相邻的装置间传输。
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