[发明专利]一种用于高纯材料制备的石英器皿渗碳装置及方法有效
| 申请号： | 201610292344.3 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105928365B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 卢鹏荐;张林;胡涛;李金川;蔡斌 | 申请（专利权）人： | 武汉拓材科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高纯材料制备的石英器皿渗碳装置及方法，将渗碳石英器皿置于第一高纯度石英管中，并开启所述可控温加热炉，使碳源挥发，将碳源的蒸汽输送至第一高纯度石英管内，控制高温加热炉温度，使渗碳石英器皿表面形成一层均匀、致密、光洁如镜的碳层，该碳层与渗碳石英器皿表面形成原子间的结合，因此结合的非常牢固，完全克服了石墨器皿使用过程中碳脱落污染物料的问题，另外从根本上解决了物料易粘连石英器皿问题，提高了生产品质，并减少了器皿破损，大大地节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高纯 材料 制备 石英 器皿 渗碳 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于高纯材料制备的石英器皿渗碳装置，其特征在于：包括第一高纯度石英管(1)和第二高纯度石英管(10)，所述第一高纯度石英管(1)安装于高温加热炉(4)内，且第一高纯度石英管(1)内设有渗碳石英器皿(3)，所述第一高纯度石英管(1)的上端安装有第一密封装置(2)，所述第一密封装置(2)通过管路与第一压力表(5)和三通阀门(7)连接，所述第二高纯度石英管(10)安装于可控温加热炉(8)内，且第二高纯度石英管(10)内设有碳源(9)，所述第二高纯度石英管(10)的上端安装有第二密封装置(11)，所述第二密封装置(11)通过管路与第二压力表(12)和三通阀门(7)连接，所述三通阀门(7)通过管路还连接有真空系统(6)；所述第一密封装置(2)包括上压盖(21)、下压盖(22)、锁紧螺丝(23)、O型密封圈(24)和环形密封垫圈(25)，所述下压盖(22)紧密贴合于第一高纯度石英管(1)的端部侧壁上，且下压盖(22)和第一高纯度石英管(1)之间留有环形槽体，所述环形槽体内设有O型密封圈(24)，所述上压盖(21)通过锁紧螺丝(23)与下压盖(22)固定安装，且上压盖(21)的表面设有与环形槽体匹配的环形压板，所述上压盖(21)和第一高纯度石英管(1)之间设有环形密封垫圈(25)，所述第二密封装置(11)与所述第一密封装置(2)结构相同。
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