[发明专利]一种利用铋系超导材料制备超导薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种利用铋系超导材料制备超导薄膜的方法，包括以下工艺步骤：制备铋系超导粉悬浊液工艺；将衬底放在匀胶机托盘上，启动真空泵，使衬底吸附在托盘上；在匀胶机上旋涂铋系超导粉悬浊液形成高温超导厚膜；涂膜完毕后，开始热解过程，热解步骤如下：将所需层数的高温超导厚膜加热，加热温度由60℃升温至480℃，加热时间50min；在480℃保温5h；所需层数的高温超导厚膜实现从480℃降温至常温得到所述的超导薄膜；解决现有技术在进行铋系超导薄膜时存在成本高，不利实用化的弊端，设计出一种具有工艺简易、方便、低成本、高效益的铋系超导厚膜制备方法，且采用该方法能够制备出大面积铋系超导薄膜。

主权项

一种利用铋系超导材料制备超导薄膜的方法，其特征在于：包括以下工艺步骤：1）制备铋系超导粉悬浊液工艺；2）将衬底放在匀胶机托盘上，启动真空泵，使衬底吸附在托盘上；3）在匀胶机上旋涂步骤1）所制备的铋系超导粉悬浊液形成高温超导厚膜：3‑1）将配置好的铋系超导粉悬浊液涂覆到衬底上，启动匀胶机，开始旋涂高温超导厚膜；3‑2）将步骤3‑1）得到的高温超导厚膜放在恒温加热板上，在空气的环境里63.4℃~78.6℃加热5~10min，然后放在高温炉里，在510℃‑530℃加热3~5min，得到第一层高温超导厚膜；3‑3）将前一次制备得到的高温超导厚膜作为衬底，重复步骤3‑1）‑3‑2），得到所需层数的高温超导厚膜；4）涂膜完毕后，开始热解过程，热解步骤如下：4‑1）将步骤3）中得到的所需层数的高温超导厚膜加热，加热温度由60℃升温至480℃，加热时间50min；4‑2）在480℃保温5h；4‑3）自然冷却，经步骤4‑2）后，所需层数的高温超导厚膜实现从480℃降温至常温得到所述的超导薄膜；所述的热解过程在空气环境中进行。