[发明专利]掩膜块、掩膜版及掩膜版的制造方法在审
| 申请号： | 201610288874.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN105951040A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 辛宇;钱栋;张继帅;李旺;沈永财 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所提供了一种掩膜块，掩膜版及掩膜版的制造方法。所述掩膜块包括：至少一个功能部；包围所述功能部的支撑部；以及至少一个开口，设置于所述功能部；由于功能部具有较小的厚度，并且是通过一次刻蚀步骤即可形成mask开口，因而可以降低真空蒸镀遮蔽效应的影响，有利于提高产品的开口率和解析度，同时本发明工艺容易达成，且容易获得较高的刻蚀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜块 掩膜版 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜块，包括：至少一个功能部；包围所述功能部的支撑部；以及至少一个开口，设置于所述功能部；其特征在于，所述开口为所述功能部通过一次刻蚀形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司，未经上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610288874.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大功率LED植物灯水循环散热装置
- 下一篇：一种锌铝镍合金共渗防护层制备方法
- 同类专利
- 专利分类
