[发明专利]具有发射电流及偏压电位控制的电离计在审
| 申请号： | 201610282044.7 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN106404277A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 赖利·K·卡麦可;杰西·A·韦伯;约翰·H·亨利;麦可·N·史考特;葛拉多·A·布鲁克尔;肯尼斯·D·凡安特卫普 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,黄灿 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测量压力的电离计，其具有发射电子的电子源，和界定电离空间的阳极。所述电离计还包含集极电极，用以收集由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子且基于所述收集的离子而测量压力。依据压力和压力除外的第二参数，在多个发射电平之间动态地改变所述电子源的发射电流。所述电离计还可根据存储在非易失性存储器中并由用户选择的参数来改变电离计组件的各种操作参数。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 发射 电流 偏压 电位 控制 电离 | ||
【主权项】：
一种用以测量压力的电离计，其包括：电子源，其发射电子；阳极，其界定电离空间；集极电极，其用以收集在所述电离空间中由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子；以及控制器，其在所述电离计对测量腔室中的压力进行测量的操作期间，作为感测到的压力的函数、并且响应于在一特定过程正由暴露于所测量的所述压力下的所述电离计除外的工具执行时的所述特定过程的另一用户定义的操作参数，而主动地变化来自所述电子源的发射电流到实质上不同电平。
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