[发明专利]用于电镀工艺中的电镀液循环过滤装置

摘要

本发明公开了一种用于电镀工艺中的电镀液循环过滤装置，包括电镀槽、电镀液过滤槽和循环系统，所述电镀槽内盛有电镀液，在电镀槽的底部设有镀液排出管；所述电镀液过滤槽位于电镀液排出管的下方，在电镀液过滤槽上设有竖直的隔板及水平的过滤板；所述循环系统包括依次连接的进液管、吸泵和出液管，其进液管的进口位于电镀液过滤槽内滤后区的侧壁上，其出液管延伸至电镀槽内。本发明的电镀液循环过滤装置，由于电镀槽及电镀液过滤槽的电镀液通过过滤板过滤后经循环系统返回电镀槽，在电镀槽内的被镀工件周围形成循环搅动，因此降低电镀液的浓差极化，提高允许的阴极电流密度上限，有效防止了固体微粒粘附于被镀工件上，形成针孔类电镀缺陷。

主权项

一种用于电镀工艺中的电镀液循环过滤装置，包括电镀槽、电镀液过滤槽和循环系统，其特征在于：所述电镀槽内盛有电镀液，在电镀槽侧壁靠近上端处设有电镀液溢流孔，在电镀槽侧壁外部设有镀液溢流槽，在电镀槽的底部设有镀液排出管，其电镀槽与电镀液溢流槽之间通过电镀液溢流孔联通；所述电镀液过滤槽位于电镀液排出管的下方，在电镀液过滤槽上设有竖直的隔板及水平的过滤板，其隔板与过滤板将电镀液过滤槽内的电镀液分隔为滤前区和滤后区，其镀液排出管排出的电镀液流至滤前区；所述循环系统包括依次连接的进液管、吸泵和出液管，其进液管的进口位于电镀液过滤槽内滤后区的侧壁上，其出液管延伸至电镀槽内，并靠近电镀槽底部处。