[发明专利]一种晶圆刷洗摆臂装置

摘要

本发明公开了一种晶圆刷洗摆臂装置，其包括基座，摆臂，盘刷，升降机构及摆动机构，基座包括底板，底板上的立板，立板顶部的旋转衬套座；盘刷设置在摆臂的末端，盘刷传动机构设置在摆臂内部；升降机构、摆动机构设置在基座内部，其通过摆臂焊接体与摆臂上的摆动板连接；升降机构带动摆臂的升降，从而带动其上的盘刷上下运动；摆动机构带动摆臂的偏转，从而带动其上的盘刷左右运动；盘刷传动机构带动盘刷绕盘刷转轴旋转。本发明提供的晶圆刷洗摆臂装置应用于晶圆清洗领域，其结构合理，能够灵活调节盘刷与晶圆表面的距离，有效避免盘刷与晶圆距离过近致使晶圆表面损伤的问题以及距离过远影响表面洁净的问题，确保无死角刷洗，保证良好的刷洗效果。

主权项

1.一种晶圆刷洗摆臂装置，其特征在于，包括基座（500），摆臂（200），盘刷（16），升降机构（300）及摆动机构（400），基座（500）包括底板（1），底板（1）上的立板（2），立板（2）顶部的旋转衬套座（31）；盘刷（16）设置在摆臂（200）的末端，盘刷传动机构（100）设置在摆臂（200）内部；升降机构（300）、摆动机构（400）设置在基座（500）内部，其通过摆臂焊接体（30）与摆臂（200）上的摆动板（17）连接；升降机构（300）带动摆臂（200）的升降，从而带动其上的盘刷（16）上下运动；摆动机构（400）带动摆臂（200）的偏转，从而带动其上的盘刷（16）左右运动；盘刷传动机构（100）带动盘刷（16）绕盘刷转轴（22）旋转；所述盘刷传动机构（100）包括旋转电机（27）、旋转带轮B（29）、旋转带轮A（19）、盘刷转轴（22）及盘刷（16），旋转电机（27）设置在摆臂（200）上的盘刷电机支撑板（25）及旋转电机安装板（28）上，旋转带轮B（29）固定在旋转电机（27）的输出轴上，旋转带轮A（19）设置在盘刷转轴（22）的一端，旋转带轮B（29）与旋转带轮A（19）之间连接有旋转齿形带（24）。