[发明专利]用于蚀刻或沉积室应用的长寿命的热喷涂涂层

摘要

本发明涉及用于蚀刻或沉积室应用的长寿命的热喷涂涂层。根据本公开，提供了若干发明，包含具有被配置为面对等离子体并耐受腐蚀的多层表面的衬底处理装置。在一个实例中，这些多层表面可以包含铝基底层、阳极化铝、或石英、第二稳定氧化锆层以及第二钇‑铝复合物层诸如钇铝石榴石层(YAG)。

主权项

一种包含被配置为容纳等离子体的室的衬底处理装置，其中所述装置包含定位为面向所述等离子体的一个或多个多层表面，所述一个或多个多层表面各自包含：基底材料；在所述基底材料上的第一层，所述第一层包含用掺杂剂氧化物稳定的氧化锆；以及在所述第一层上的第二层，其包含钇‑铝复合物。