[发明专利]一种利用水蒸气辅助及紫外光活化的被键合物键合装置及方法

摘要

本发明公开了一种利用水蒸气辅助及紫外光活化的被键合物键合装置及方法，所述键合装置由压力施加装置、静电发生器、活化气体供给系统，真空抽气系统、升降温控制平台及紫外光光源构成，所述键合方法为将两个被键合样品分别吸附在上、下压头上→开启真空泵对密闭箱体抽真空→向密闭箱体内通入一定压强的氧气和水蒸汽(或氮气和水蒸汽)的混合气体→紫外光照射上、下被键合物表面一定时间→对上压头施加压力进行预键合→键合后的退火处理。本发明可以获得缺陷少的键合界面，并改善键合强度和键合质量，而且键合装置成本相对低廉，操作简单。

主权项

一种利用水蒸气辅助及紫外光活化的被键合物键合装置，其特征在于所述键合装置由压力施加装置、静电发生器、活化气体供给系统，真空抽气系统、升降温控制平台及紫外光光照控制部分构成，其中：所述真空抽气系统由密闭箱体及真空泵组成，真空泵与密闭箱体连接；所述压力施加装置由气缸、上压头、下压头及下压头支柱组成，上压头、下压头及下压头支柱位于密闭箱体内部，气缸固定连接在密闭箱体的上端，缸推杆与上压头相连，下压头、下压头支柱与密闭箱体三者两两顺次固定连接；所述静电发生器与上压头相连；所述活化气体供给系统由氧气或氮气瓶及水蒸气发生装置组成，氧气或氮气瓶和水蒸气发生装置分别与密闭箱体连接；所述升降温控制平台由上、下压头内的电阻丝、直流恒流电源、及温度控制器组成，直流恒流电源经导线分别与电阻丝、温度控制器连接，温度控制器经导线分别与电阻丝、下压头连接；所述紫外光光照控制部分由推杆及紫外光发生装置组成，紫外光发生装置和推杆的一端相连且位于密闭箱体的内部。