[发明专利]一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法

摘要

本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区，势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金，可以提高载流子局域化，抑制非辐射复合过程，进而提高内量子效率；利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜，形成具有凹面的网格状反射层，可增强紫外光的反射，提高光提取效率；电子束泵浦源采用场发射电子束，场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化；同时，电子束泵浦源均配有金属栅极，更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。

主权项

1.一种出光增强型电子束泵浦紫外光源，其特征在于，所述紫外光源包括：衬底、外延层、网格状反射层、电子束泵浦源和出光窗口；其中，所述外延层的背面形成在衬底上，外延层从背面至正面依次包括模板材料、缓冲层和多量子阱；多量子阱作为有源区采用III‑V族或II‑VI族元素，势阱采用数字合金，数字合金包含II族或III族元素构成的单原子层或亚原子层；在外延层的正面刻出周期性网格状划痕，划痕深入至衬底；在未划痕的表面和划痕的表面蒸镀一层均匀的高反射金属薄膜，形成网格状反射层，在划痕处具有凹面；在衬底的背面设置出光窗口；所述电子束泵浦源发射电子束，从正面入射，激发多量子阱产生紫外光；产生的部分紫外光直接经衬底从背面的出光窗口输出；部分紫外光在外延层与衬底的界面发生全反射，网格状反射层的凹面阻挡了紫外光从外延层的侧面出射，从而提高了紫外光从背面的出光窗口的出光效率。