[发明专利]多晶硅还原尾气回收方法及回收系统

摘要

本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：向还原尾气中通入外补的氯化氢气体，并使还原尾气中的无定形硅粉与其中的氯化氢气体及外补的氯化氢气体充分反应；通过分离膜将已去除无定形硅粉的还原尾气中的氢气和少量的氯化氢的混合气与气相氯硅烷分离；对所述混合气进行吸附处理；对气相氯硅烷进行加压冷凝处理，从而将液相的三氯氢硅与气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅分离；对气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅再进行加压冷凝处理，从而将四氯化硅富液与富含二氯二氢硅的不凝气分离。相应地，提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明所述回收方法和系统的工艺流程简单、能耗少且有效去除了还原尾气中的无定形硅粉。

主权项

1.一种多晶硅还原尾气回收方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体、气相氯硅烷和无定形硅粉，所述气相氯硅烷包括气相的四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅，其特征在于，所述回收方法包括如下步骤：向所述还原尾气中通入外补的氯化氢气体，并使还原尾气中的无定形硅粉与其中的氯化氢气体及外补的氯化氢气体充分反应，以去除并转化还原尾气中的无定形硅粉；通过分离膜将已去除无定形硅粉的还原尾气中的氢气和少量的氯化氢的混合气与气相氯硅烷分离；对已分离出来的氢气和少量的氯化氢的混合气进行吸附处理，以去除所述混合气中的氯化氢气体；对已分离出来的气相氯硅烷进行加压冷凝处理，从而将液相的三氯氢硅与气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅分离，其中分离出的纯净的液相三氯氢硅与合成或氢化精馏系统所得的精制三氯氢硅根据预设的还原进料最佳组分配比配制成还原反应所需的氯硅烷原料后，再送入还原炉中参与制备多晶硅的反应；对所述气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅再进行加压冷凝处理，从而将四氯化硅富液与富含二氯二氢硅的不凝气分离，所述不凝气包括气相的二氯二氢硅、少量的四氯化硅和少量的三氯氢硅，其中分离出的四氯化硅富液送往氢化工序，以生成三氯氢硅，然后经过分离、提纯处理后送入还原炉中参与制备多晶硅的反应，而分离出的富含二氯二氢硅的不凝气送往反歧化工序，以生成三氯氢硅，然后经过分离、提纯处理后送入还原炉中参与制备多晶硅的反应。