[发明专利]光学元件表面颗粒物在线监测装置及其在线监测的方法

摘要

本发明公开了一种光学元件表面颗粒物在线监测装置及其在线监测的方法。其中，该装置包括光学反射镜(3，9)、固定架(4)、暗场成像系统(5)、光学反射镜箱体(6)、二暗场照明光源(7)、明场成像系统(8)、线性位移台(12)；其中，所述光学反射镜(3，9)和所述固定架(4)设置在所述光学反射镜箱体(6)上；所述暗场成像系统(5)、所述明场成像系统(8)和所述线性位移台(12)设置在所述固定架(4)上，所述线性位移台(12)带动所述明场成像系统(8)运动；所述二暗场照明光源(7)分别设置在所述光学反射镜(9)的两侧。由此，本发明实施例解决了如何以不同分辨率监测光学元件表面污染物的技术问题。

主权项

1.一种光学元件表面颗粒物在线监测装置，其特征在于，所述装置包括：光学反射镜(3，9)、固定架(4)、暗场成像系统(5)、光学反射镜箱体(6)、两个暗场照明光源(7)、明场成像系统(8)、线性位移台(12)；其中，所述光学反射镜(3，9)和所述固定架(4)设置在所述光学反射镜箱体(6)上；所述暗场成像系统(5)、所述明场成像系统(8)和所述线性位移台(12)设置在所述固定架(4)上，所述线性位移台(12)带动所述明场成像系统(8)运动；所述两个暗场照明光源(7)分别对称设置在所述光学反射镜(9)的两侧；所述暗场成像系统(5)包括：暗场相机(13)、左固定杆(14)、相机固定板(15)、变倍电机(16)、左支撑臂(17)、左光电开关(18)、左光电开关座(19)、聚焦大齿轮(20)、电机固定架(21)、变倍小齿轮(22)、变倍大齿轮(23)、挡片(24，26)、变倍镜头(25)、镜头挡板(27)、锁紧螺母(28)、挡板旋转轴(29)、右光电开关(30)、聚焦电机(31)、右光电开关座(32)、聚焦小齿轮(33)、挡板开合电机(34)、右支撑臂(35)、右固定杆(36)；其中，所述暗场相机(13)固定在所述相机固定板(15)上，所述相机固定板(15)通过所述左固定杆(14)和所述右固定杆(36)与所述固定架(4)相连，所述电机固定架(21)与所述左支撑臂(17)和所述右支撑臂(35)相连；所述变倍镜头(25)和所述暗场相机(13)相连；所述变倍电机(16)固定在所述电机固定架(21)上，所述变倍小齿轮(22)和所述变倍电机(16)相连，所述变倍大齿轮(23)固定在所述变倍镜头(25)上，通过所述变倍电机(16)带动所述变倍小齿轮(22)转动，所述变倍小齿轮(22)和所述变倍大齿轮(23)啮合；所述聚焦电机(31)固定在所述电机固定架(21)上，所述聚焦小齿轮(33)和所述变倍电机(31)相连，所述聚焦大齿轮(20)固定在所述变倍镜头(25)上，所述聚焦电机(31)带动所述聚焦小齿轮(33)转动，所述聚焦小齿轮(33)和所述聚焦大齿轮(20)啮合；所述挡板开合电机(34)固定在所述电机固定架(21)上，所述挡板开合电机(34)和所述挡板旋转轴(29)相连，所述镜头挡板(27)通过所述锁紧螺母(28)安装在所述挡板旋转轴(29)上；所述左光电开关(18)安装在所述左光电开关座(19)上，所述左光电开关座(19)固定在所述左支撑臂(17)上；所述右光电开关(30)安装在所述右光电开关座(32)上，所述右光电开关座(32)固定在所述右支撑臂(35)上；所述挡片(24，26)固定在所述变倍大齿轮(23)上。