[发明专利]一种连续制备二维纳米薄膜的设备在审
| 申请号： | 201610224335.0 | 申请日： | 2012-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN105779961A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 徐明生 | 申请（专利权）人： | 徐明生 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 刘晓春 |
| 地址： | 114002 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续制备二维纳米薄膜的设备，包括进料腔室、样品制备腔室、出料腔室等；各腔室之间设有阀门，样品通过滚轮或传送带等样品传送装置实现在各腔室之间传输；各腔室分别连接独立的抽真空装置和气体管道；样品制备腔室设有物理气相沉积系统或化学气相沉积系统等；进料腔室可设有加热装置或等离子体等表面处理的系统，出料腔室可设有加热装置等；整台设备设有自动化控制系统以控制腔室之间的阀门的开关，样品的传输，真空系统的运转，气体流量的控制等。本设备结构简单、工作可靠，可大面积地连续制备均匀的石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜，适合于二维纳米薄膜的产业化制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 制备 二维 纳米 薄膜 设备 | ||
【主权项】：
一种连续制备二维纳米薄膜的设备，包括进料腔室(4)，样品制备腔室(7)，出料腔室(12)，其特征在于：所述的进料腔室(4)、样品制备腔室(7)和出料腔室(12)均设有样品传送装置；所述的进料腔室(4)设有与大气相通的阀门(31)，进料腔室(4)与样品制备腔室(7)之间设有阀门(32)，样品制备腔室(7)与出料腔室(12)之间设有阀门(33)，出料腔室(12)设有与大气相通的阀门(34)；所述的进料腔室(4)、样品制备腔室(7)和出料腔室(12)中至少有一个腔室设有加热装置；所述的进料腔室(4)、样品制备腔室(7)和出料腔室(12)分别连接独立的抽真空装置；所述的进料腔室(4)设有导入惰性气体的气体连接口；所述的样品制备腔室(7)和出料腔室(12)均设有导入气体的一个或多个气体连接口，所述气体连接口导入的气体至少包括合成二维纳米薄膜所需的前驱体。
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