[发明专利]一种提高背光源亮度的衬底制作方法在审
申请号: | 201610219660.8 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN105845789A | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 林志伟;陈凯轩;张永;卓祥景;姜伟;方天足 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 廖吉保;唐绍烈 |
地址: | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种提高背光源亮度的衬底制作方法,一种提高背光源亮度的衬底制作方法,包括以下步骤:一,提供衬底,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凸起的立体状光刻胶图形;二,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凸起的立体图案;三,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凹陷的立体状光刻胶图形;四,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凹陷的立体图案,形成相邻凸起的立体图案之间设置凹陷的立体图案的衬底。本发明可以获得更好的单向性光源,且有效提高发光效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 背光源 亮度 衬底 制作方法 | ||
【主权项】:
一种提高背光源亮度的衬底制作方法,其特征在于:包括以下步骤:一,提供衬底,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凸起的立体状光刻胶图形;二,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凸起的立体图案;三,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凹陷的立体状光刻胶图形;四,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凹陷的立体图案,形成相邻凸起的立体图案之间设置凹陷的立体图案的衬底。
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