[发明专利]一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法在审
| 申请号： | 201610209718.0 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106980227A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 边捷 | 申请（专利权）人： | 边捷 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210048 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，包括如下步骤(1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板；(2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶；(3)压印出与模板对应的纳米图案；(4)刻蚀掉压印胶残余层，得到独立的压印胶图案；(5)部分去掉压印胶，得到纳米颗粒的图案。本发明方法可应用于多种纳米颗粒的任意纳米图案的制备，且该方法制备分辨率高，工艺简单，能高效率，低成本大面积地在多种衬底上制备纳米颗粒图案，能够很好的满足实际需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多种 衬底 表面 制备 纳米 颗粒 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征是包括如下步骤：步骤1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板；步骤2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶；步骤3)压印出与纳米压印模板对应的纳米图案；步骤4)刻蚀掉压印胶残余层，得到独立的压印胶图案；步骤5)部分去掉压印胶，得到纳米颗粒的图案。
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