[发明专利]基于PDHF/TiO2/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器及其制备方法

摘要

一种基于PDHF/TiO₂/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器及其制备方法，属于半导体紫外光电探测技术领域。从下至上依次由衬底(石英片、硅片或氟化钙片)、采用溶胶‑凝胶法在衬底上制备的纳米TiO₂薄膜、采用旋涂法在TiO₂薄膜表面制备的PDHF薄膜、在PDHF薄膜表面采用磁控溅射法制备的金属(Au、Pt或Ni)叉指电极组成。在叉指电极间形成PDHF/TiO₂/PDHF双异质结构，在暗态时可以有效阻挡电子传输，在紫外光照下又可形成空穴增益，使器件暗电流被明显改善的同时，光电流也有一定提高，性能得到全面提升。

主权项

1.一种基于PDHF/TiO2/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器，其特征在于：从下至上依次由衬底、采用溶胶-凝胶法在衬底上制备的纳米TiO2薄膜、采用旋涂法在TiO2薄膜表面制备的PDHF薄膜、在PDHF薄膜表面采用磁控溅射法制备的金属叉指电极组成；其中，衬底的厚度为0.5～1.5mm，纳米TiO2薄膜的厚度为80～120nm，PDHF薄膜的厚度为3～15nm，叉指电极的厚度为100～150nm，电极长度、电极间距、电极宽度分别为0.8～1.2mm、10～30μm、10～30μm。