[发明专利]膜厚的检测装置

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括公共电极与检测芯片，检测芯片包括：检测电极阵列，与公共电极在第一方向上相对且间隔设置，包括多个依次排列的检测电极，公共电极与检测电极阵列之间的间隔构成待测膜的传输通道；检测电路，与检测电极阵列电连接，用于检测各检测电极的感应电信号；检测芯片由结构膜层形成，结构膜层包括：基板与绝缘膜，基板设置于基板的表面上，绝缘膜包括与基板接触设置的第一绝缘层，第一绝缘层为氧化绝缘层，检测电极阵列设置在绝缘膜的远离基板的表面上。该检测装置使用方便，且检测精度高。

主权项

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括公共电极与检测芯片，其中，所述检测芯片包括：检测电极阵列，与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，所述检测电极阵列包括多个依次排列的检测电极，所述公共电极与所述检测电极阵列之间的间隔构成待测膜的传输通道；检测电路，与所述检测电极阵列电连接，用于检测各所述检测电极的感应电信号；所述检测芯片由结构膜层形成，所述结构膜层包括：基板；绝缘膜，设置于所述基板的表面上，所述绝缘膜包括与所述基板接触设置的第一绝缘层，所述第一绝缘层为氧化绝缘层，所述检测电极阵列设置在所述绝缘膜的远离所述基板的表面上，所述检测电极为窄条状电极，所述窄条状电极在第二方向上的最大宽度小于在第三方向上的最大宽度，所述第二方向和所述第三方向均与所述第一方向垂直，且所述第三方向为所述待测膜的移动方向，至少一个所述检测电极包括多个顶电极与底电极区域，所述底电极区域设置在所述绝缘膜中，所述底电极区域与所述基板不接触设置，所述绝缘膜的远离所述基板的表面开设有多个过孔，所述顶电极与所述过孔一一对应，各所述顶电极与所述底电极区域通过对应的过孔电连接。