[发明专利]一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置

摘要

本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置，包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置；真空室的上盖与真空室的室底相对，真空室的侧壁连接上盖和室底，以形成一腔室；侧壁上开设有一开口；门体与真空室连接，用于盖设于开口；阳极靶和阴极靶设置在真空室的内部，且，阳极靶与阴极靶相对设置，阴极靶位于室底与阳极靶之间；驱动机构穿过室底与阴极靶相连；抽真空装置与真空室连通。本申请在真空室的侧壁上设置门体，在需要清理沉积物垃圾时，打开侧壁上的门体，将真空吸头从真空室的侧壁伸到内部进行清扫，真空吸头不再需要拐弯，易于清理底部的沉积物垃圾，清理彻底，不会污染下一次沉积过程。

主权项

1.一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置，其特征在于，包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置；所述真空室的上盖与所述真空室的室底相对，所述真空室的侧壁连接所述上盖和所述室底，以形成一腔室；所述侧壁上开设有一开口；所述门体与所述真空室连接，用于盖设于所述开口；所述阳极靶和所述阴极靶设置在所述真空室的内部，且，所述阳极靶与所述阴极靶相对设置，所述阴极靶位于所述室底与所述阳极靶之间；所述驱动机构穿过所述室底与所述阴极靶相连；所述抽真空装置与所述真空室连通；其中，在所述开口处设置有电场平衡机构，所述电场平衡机构可拆卸式连接在所述开口处的真空室的侧壁上，以补全所述开口。