[发明专利]一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法

摘要

本发明公开了一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法，该装置包括变径棒，其中，阴极靶台位于工作台支架的顶端；待处理管夹具固定待处理的变径金属管，并与待处理管支架连接，使得变径金属管通过待处理管支架而支撑于工作台支架上；变径棒与变径金属管的内壁轮廓相同，但直径相应比变径金属管的直径小；变径棒夹具固定变径棒，并与变径棒支架连接，使得变径棒通过变径棒支架而支撑于工作台支架上，并且变径棒插入变径金属管内，保持同心，使整个变径金属管的内壁与变径棒的外表面距离处处相等；并且变径棒和变径金属管均分别与阴极靶台电连接。本发明适用于具有某些形状的变径金属管内表面改性，设备相对简单，操作方便，沉积效果良好。

主权项

1.一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置，包括：变径棒；变径棒夹具；变径棒支架；待处理管夹具；待处理管支架；工作台支架；阴极靶台；以及真空室，整个装置放置在所述真空室中，其中，气体馈送管道连接于所述真空室的侧壁，惰性气体和气态沉积粒子通过所述气体馈送管道送入所述真空室；所述工作台支架穿过所述真空室底部并深入所述真空室内，所述工作台支架与所述真空室底部之间设有绝缘陶瓷，所述阴极靶台位于所述工作台支架的顶端；所述阴极靶台的两端分别放置有所述变径棒支架和所述待处理管支架，所述待处理管夹具固定待处理的变径金属管，并与所述待处理管支架连接，使得所述变径金属管通过所述待处理管支架而支撑于所述阴极靶台上；所述变径棒与所述变径金属管的内壁轮廓相同，但直径相应比所述变径金属管的直径小；所述变径棒夹具固定所述变径棒，并与所述变径棒支架连接，使得所述变径棒通过所述变径棒支架而支撑于所述阴极靶台上，并且所述变径棒插入所述变径金属管内，保持同心，使整个所述变径金属管的内壁与所述变径棒的外表面距离处处相等；并且所述变径棒和所述变径金属管分别与所述阴极靶台电连接。