[发明专利]一种柔性电子制备、转移与封装系统及方法有效
申请号: | 201610182059.6 | 申请日: | 2016-03-28 |
公开(公告)号: | CN105762096B | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 陈建魁;刘腾;尹周平;黄永安 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/50 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人: | 梁鹏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性电子制备、转移与封装系统及方法,该系统包括基板转移模块、柔性电子制备模块、激光剥离模块以及封装与装卸模块,基板转移模块用于拾取基板并放置到柔性电子制备模块上,然后将制备好的柔性电子连同基板一起转移到激光剥离模块,最后从激光剥离模块上取回被剥离的基板;柔性电子制备模块用于在基板上完成柔性电子的制备;激光剥离模块用于将制备好的柔性电子与基板分离;封装装卸模块用于将需封装的产品放在封装模块上,并将从基板上剥离的柔性电子封装在产品上,最后将封装好的产品取下。所述方法利用所述系统进行柔性电子的制备、转移与封装。本发明大大缩小了系统的体积,减少了中间环节,节约了空间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电子 制备 转移 封装 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性电子制备、转移与封装系统,其特征在于,该系统包括基板转移模块(100)、柔性电子制备模块(200)、激光剥离模块(300)以及封装与装卸模块(400),其中:所述基板转移模块(100)用于拾取基板并放置到柔性电子制备模块(200)上,然后将制备好的柔性电子连同基板一起从柔性电子制备模块(200)转移到激光剥离模块(300),最后从激光剥离模块(300)上取回被剥离的基板;所述柔性电子制备模块(200)用于在基板上完成整个柔性电子的制备,该柔性电子制备模块(200)首先在基板上电喷雾出一层基底,然后在基底上打印出底层的绝缘层,再在绝缘层上纺出需要的电路,最后在电路层上打印出顶层的绝缘层;所述激光剥离模块(300)用于将制备好的柔性电子与基板分离;所述封装与装卸模块(400)用于将需要封装的产品安放于封装模块上,并将从基板上剥离的柔性电子封装在产品上,最后将封装好的产品取下。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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