[发明专利]单晶炉用热场及单晶炉有效
申请号: | 201610177122.7 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN107227488B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 邓浩;张龙龙;刘培东;张骏凯 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的单晶炉用热场,包括坩埚及位于其上方的冷却件,还包括护套,护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉,包括炉体和如上所述的单晶炉用热场,单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件,可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本;并且由于设置了护套,还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用热场 单晶炉 | ||
【主权项】:
1.单晶炉用热场,包括坩埚(121)及位于其上方的冷却件(123),其特征在于,还包括护套(124),所述护套(124)设置于所述冷却件(123)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧,所述护套(124)具有相对的第一表面(125)和第二表面(126),所述第一表面(125)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧,所述第二表面(126)与所述冷却件(123)间隔设置或者相贴合接触。
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