[发明专利]一种微纳米管状结构的加工方法在审
| 申请号： | 201610173915.1 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105836700A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李无瑕;金凌;刘哲;李俊杰;顾长志;金爱子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范晓斌;康正德 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微纳米管状结构的加工方法，属于三维微纳米结构与器件技术领域，其步骤包括：在基底上制备过渡层；在所述过渡层上制备纳米薄膜；将所述纳米薄膜与所述基底分离，得到分离后的纳米薄膜；将所述分离后的纳米薄膜转移到支架衬底上；将所述纳米薄膜进行平面内微纳米结构的加工，得到微纳米图形结构；将所述微纳米图形结构进行离子束辐照变形，得到微纳米管状结构的成品。本发明提供的一种微纳米管状结构的加工方法，能够高可控性、高精度、大面积、高效地制备微纳米管状结构的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 管状 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳米管状结构的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：s101、在基底上制备过渡层；s102、在所述过渡层上制备纳米薄膜；s103、将所述纳米薄膜与所述基底分离，得到分离后的纳米薄膜；s104、将所述分离后的纳米薄膜转移到支架衬底上；s105、将所述纳米薄膜进行平面内微纳米结构的加工，得到微纳米图形结构；s106、将所述微纳米图形结构进行离子束辐照变形，得到微纳米管状结构的成品。
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