[发明专利]一种棱镜旋转调节机构和光刻机曝光系统及光刻机有效
| 申请号： | 201610173887.3 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106933060B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 苏同克 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种棱镜旋转调节机构和光刻机曝光系统及光刻机，其中，棱镜旋转调节机构，包括框架、柔性机构及驱动机构，所述柔性机构包括依次柔性铰接的固定件、驱动件、连接件及摇动件，所述固定件固定在框架上，所述驱动机构与所述框架固接，并与所述驱动件连接，所述摇动件上固定有棱镜，所述摇动件与所述固定件的铰接轴为所述棱镜的旋转中心。本发明采用柔性机构构成四边形柔性铰链结构，通过驱动机构直线驱动驱动件，将直线运动转化为旋转运动，使旋转运动的控制更精确，提高了棱镜的旋转控制精度，同时，棱镜的旋转中心为摇动件与固定件的铰接轴，保证了旋转中心位置的稳定，避免在旋转调节过程中发生窜扰，进一步提高棱镜的旋转控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 棱镜 旋转 调节 机构 光刻 曝光 系统 | ||
【主权项】：
1.一种棱镜旋转调节机构，其特征在于，包括框架、柔性机构及驱动机构，所述柔性机构包括依次柔性铰接的固定件、驱动件、连接件及摇动件，所述固定件固定在框架上，所述驱动机构与所述框架固接，并与所述驱动件连接，所述摇动件上固定有棱镜，所述摇动件与所述固定件的铰接轴为所述棱镜的旋转中心，所述固定件一端与所述驱动件中部柔性铰接，所述驱动件一端与所述连接件的一端柔性铰接、另一端为自由端，所述连接件的另一端与所述摇动件柔性铰接，所述摇动件中部与所述固定件柔性铰接。
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