[发明专利]边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法有效
| 申请号： | 201610163607.0 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN105629679B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 丁磊 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法。本发明的边缘曝光机，包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；在边缘曝光机进行边缘曝光时，所述方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高基板的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 曝光 区域 方法 | ||
【主权项】：
一种边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台(10)、位于载台上方的边缘曝光遮光板(20)、位于所述边缘曝光遮光板(20)上方的曝光灯源(40)，所述边缘曝光遮光板(20)具有宽度可调的透光区域，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制，其特征在于，还包括：位于载台上方的打码区遮光板(30)、边缘宽度控制电动机(50)、及驱动所述打码区遮光板(30)移动的方向驱动电动机(60)；所述边缘宽度控制电动机(50)用于控制所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度；所述打码区遮光板(30)为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610163607.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
