[发明专利]一种基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法

摘要

本发明公开了一种基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，包括以下具体特征：制作硬微针、制作微流体腔、放入待测水体、通电、测量电流、测量离子浓度。通过上述方式，本发明提供的基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，通过半导体的硬微针可以精确测量水体内的离子浓度，这种方法没有二次污染，且因为是微测量，所以测量精度高，需要的待测样本少，可以做少量精确测量，由于这种测量方法不需化学反应，测量时间短，可以做到及时测量。

主权项

1.一种基于半导体硬微针的微流体腔水质检测方法，其特征在于，包括以下具体特征：a、制作硬微针，利用半导体微加工技术，将半导体材料加工成长度及直径极其微小的硬微针，在其表面镀金并用金属导体导出；b、制作微流体腔，利用微加工技术，将半导体材料加工成内径极其微小的微流体腔，微流体腔的内径小于200um；c、放入待测水体，将半导体的硬微针（ 1） 装入微流体腔（ 2） 内，将待测水体流入微流体腔（ 2） ，使待测水体与硬微针（ 1） 充分接触；d、通电，通过外部电源经由测量导出集成电路（ 3） 向微流体腔（ 2） 内的硬微针（ 1） 供电后，相邻的硬微针（ 1） 会吸引离子流动，从而在微流体腔（ 2） 内形成微电流；e、测量电流，在外部的测量导出集成电路（ 3） 上制作电流计（ 4） ，测量得到微流体腔（ 2） 内电流的大小；f、测量离子浓度，根据电流的物理定义，得出通过单位面积的电量的大小，电流的大小与离子浓度成正比，从而达到待测水体内离子浓度的目的；上述中，所述的硬微针呈阵列状排列的结构，所述的单个硬微针长度在50至200um之间，单个硬微针的针尖直径小于10um，单个硬微针的针柱直径小于20um。