[发明专利]一种化学气相反应沉积透明疏水易清洁薄膜的方法有效
| 申请号： | 201610146810.7 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN105936798B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 吴子豹;王斐 | 申请（专利权）人： | 上海斐腾新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09D165/00 | 分类号： | C09D165/00;C08G61/12 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 200120 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学气相反应沉积透明疏水易清洁薄膜的方法，包括制备前驱体、制备八氟二氯对二甲基苯二聚体、化学气相反应沉积薄膜。本发明所述方法以6氟1氯对二甲苯作为主要原料，降低了生产成本；本发明所述方法适用于塑料、金属表面的镀膜，简便高效，沉积速度快，可工业化量产；本发明所获得的派瑞林HT型镀膜透明疏水易清洁，具有很好的推广运用前景。 1 | ||
| 搜索关键词： | 化学气相反应 易清洁 疏水 沉积 镀膜 透明 薄膜 对二甲基苯 氯对二甲苯 制备前驱体 沉积薄膜 金属表面 二聚体 派瑞林 量产 制备 生产成本 塑料 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相反应沉积透明疏水易清洁薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：制备前驱体：以N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂，先将三甲基氯硅烷与纳米镁粉或氟化镁加入其中混合后，再将6氟1氯对二甲苯滴加进入，在氩气气氛下反应，产物经萃取去水后进行抽滤，获得无色透明溶液，作为前驱体；制备八氟二氯对二甲基苯二聚体：以氟化铯为催化剂，将上一步的前驱体与氟化铯混合后加入苯甲醚中，加热冷凝回流，加热温度为160摄氏度，冷凝回流24小时，得到的混合物抽滤取滤液，蒸馏滤液去除苯甲醚，获得白色的八氟二氯对二甲基苯二聚体；化学气相反应沉积薄膜：将上一步制备的八氟二氯对二甲基苯二聚体加入化学气相沉积镀膜机的蒸发室，加热升华后进入裂解室裂解，得到的四氟一氯二甲基苯自由基进入沉积室沉积在工件表面，获得透明疏水易清洁的薄膜。
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