[发明专利]一种非易失性频率可调的噪声干扰抑制器及其制备方法有效
申请号: | 201610142101.1 | 申请日: | 2016-03-14 |
公开(公告)号: | CN105810708B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 苏桦;沈洁;张硕;唐晓莉;张怀武;荆玉兰;刘保元 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L27/20 | 分类号: | H01L27/20;H01L27/22;H01L41/187;H01L43/12 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 张杨 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明属于电子器件技术领域,具体涉及一种非易失性频率可调的噪声干扰抑制器及其制备方法。其结构包括PZT基片、镀在其两面的上下电极和制备于上电极上的铁氧体膜片。PZT基片含有缺陷偶极子,厚度为0.25mm~1mm;下电极厚度10nm~500微米,上电极厚度10‑500纳米。铁氧体膜片成分为Ni0.27Zn0.1Fe2.63O4,采用旋转喷涂的方法90℃低温沉积在PZT基片的上电极而成,且其电阻率≥106Ω.cm,厚度为1~10μm。使用时,将噪声干扰抑制器的铁氧体膜片这一面倒扣在微带或共面波导传输线上,PZT基片的上下电极不接触到传输线的电极即可。本发明干扰的抑制效果好,使用方便;节约能源;中心频率连续可调。 | ||
搜索关键词: | 一种 非易失性 频率 可调 噪声 干扰 抑制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种非易失性频率可调的噪声干扰抑制器,包括PZT基片、上下电极和铁氧体膜片,上下电极镀在PZT基片的两面,上电极上制备一层铁氧体膜片,其特征在于:所述PZT基片含有缺陷偶极子,是通过对PZT陶瓷基片进行受主掺杂后,在陶瓷内部产生氧空位,氧空位与掺杂离子形成缺陷偶极子,再经过极化和老化处理后得到,厚度为0.25mm~1mm;所述下电极的厚度为10nm~500微米,上电极厚度为10‑500纳米;所述上下电极均为良好导电的金属电极;所述铁氧体膜片为NiZn铁氧体膜,采用旋转喷涂的方法90℃低温沉积在PZT基片的上电极上而成,且其电阻率≥106Ω.cm,厚度为1~10μm;所述铁氧体膜片的面积小于上电极的面积。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的