[发明专利]基于电子束蒸发的双钨坩埚结构

摘要

本发明公开了基于电子束蒸发的双钨坩埚结构，其包括第一钨坩埚和第二钨坩埚，第一钨坩埚包括中空圆柱形的第一本体，第一本体的底部由电子束加热，第一本体的顶部设有第一边缘，第一边缘的外径大于第一本体的外径，第一边缘的顶部设有第一斜面；第二钨坩埚包括中空圆柱形的第二本体，第二本体顶部设有中空的圆台体，圆台体底部直径小于其顶部直径，圆台体的顶部设有中空圆柱形的第二边缘，圆台体的外表面为第二斜面，第二斜面与所述第一斜面互相配合，第一斜面支撑所述第二斜面进而支撑所述第二钨坩埚。利用陶瓷片衰减上钨坩埚底部中心热量，银滴不会落入底部导致蒸发能，陶瓷片即使开裂也不会影响陶瓷产生较大位移，不会影响阻热效果。

主权项

一种基于电子束蒸发的双钨坩埚结构，其特征在于，其包括：第一钨坩埚，所述第一钨坩埚包括中空圆柱形的第一本体，所述第一本体的底部由电子束加热，所述第一本体的顶部设有第一边缘，所述第一边缘的外径大于所述第一本体的外径，所述第一边缘的顶部设有第一斜面；第二钨坩埚，所述第二钨坩埚包括中空圆柱形的第二本体，所述第二本体顶部设有中空的圆台体，所述圆台体底部直径小于其顶部直径，所述圆台体的顶部设有中空圆柱形的第二边缘，所述圆台体的外表面为第二斜面，所述第二斜面与所述第一斜面互相配合，所述第一斜面支撑所述第二斜面进而支撑所述第二钨坩埚；所述第二钨坩埚置于所述第一钨坩埚的顶部，所述第二本体伸入至所述第一本体中空部，且所述第二本体的外壁贴紧所述第一本体中空的内壁，电子束加热所述第一本体的底部，热量由所述第一本体传给给所述第二本体，使所述第二钨坩埚获得热量蒸发银丝，银滴落入到所述第二本体的底部。