[发明专利]位置检测设备、包括位置检测设备的设备和位置检测方法在审
| 申请号： | 201610122228.7 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105937917A | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 本田公文;石川大介;友定俊彦 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/245 | 分类号： | G01D5/245 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种位置检测设备、包括位置检测设备的设备和位置检测方法。该位置检测设备包括连同具有周期图案的光学标尺(101)一起使用的第一光学位置检测器(103)。该第一光学位置检测器在伴随着可动构件(102)的移动而与光学标尺相对移动的情况下，接收来自周期图案的光，以生成分别按与周期图案的周期相对应的周期发生变化的第一检测信号。第二非光学位置检测器(108)生成伴随着可动构件的移动而发生变化的第二检测信号。计算器(106)通过使用第一检测信号来产生第一位置信号，通过使用第二检测信号来产生分辨率与第一位置信号的分辨率不同的第二位置信号，并且进行用于将第一位置信号和第二位置信号组合的计算以产生绝对位置信号。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 设备 包括 方法 | ||
【主权项】：
一种位置检测设备，其特征在于，包括：第一位置检测器(103)，其是与设置有周期相互不同的多个周期图案的光学标尺(101)一起使用的光学位置检测器，并且用于在伴随着可动构件(102)的移动而与所述光学标尺相对移动的情况下，接收来自所述多个周期图案的光，以生成分别按与所述多个周期图案的周期相对应的周期发生变化的多个第一检测信号；第二位置检测器(108)，其是非光学位置检测器，并且用于生成伴随着所述可动构件的移动而发生变化的第二检测信号；以及计算器(106)，用于通过使用所述多个第一检测信号来产生第一位置信号，通过使用所述第二检测信号来产生分辨率与所述第一位置信号的分辨率不同的第二位置信号，并且进行用于将所述第一位置信号与所述第二位置信号组合的计算以产生用于表示所述可动构件的绝对位置的信号。
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