[发明专利]输送机械手和光刻设备有效
| 申请号： | 201610097161.6 | 申请日： | 2016-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN105904474B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 松平泰尚 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;G03F7/20;B65G49/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及输送机械手和光刻设备。输送机械手用于以负压吸附状态来对输送物进行输送，包括：垫，其具有：接触输送物的接触部；和凹部，凹部具有可抽成真空的内部空间；基座，其在承载着垫的情况下移动；第一弹性构件，其在输送物的重力方向上可移动地将垫支撑在基座上，并且在垂直于重力方向的方向上限制垫相对于基座的移动；以及第二弹性构件，其密封与凹部的内部空间连通的空间，并且在重力方向上可移动地将垫支撑在基座上。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 机械手 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种输送机械手，用于以负压吸附状态来对输送物进行输送，包括：垫，其具有：接触输送物的接触部；和凹部，凹部具有可抽成真空的内部空间；基座，其在承载着垫的情况下移动；第一弹性构件，其在输送物的重力方向上可移动地将垫支撑在基座上，并且在垂直于重力方向的方向上限制垫相对于基座的移动；以及第二弹性构件，其密封与凹部的内部空间连通的空间，并且在重力方向上可移动地将垫支撑在基座上。
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