[发明专利]机电变换器及其制作方法有效
| 申请号： | 201610088359.8 | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN105728304B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 虎岛和敏;秋山贵弘;冨吉俊夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 变换器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容式机电变换器，所述电容式机电变换器包括元件，所述元件包括多个单元，其中，所述单元包括：衬底；第一电极，所述第一电极沿堆叠方向布置在所述衬底上；以及振动膜，所述振动膜在所述衬底上沿所述堆叠方向布置在所述第一电极上，在所述振动膜与第一电极之间具有间隙，其中，所述振动膜包括第一薄膜和第二电极，使得所述第一薄膜被布置在所述间隙所位于的一侧，并且其中，所述第一电极具有6nm均方根或更小的表面粗糙度值。
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