[发明专利]沉积源有效
| 申请号： | 201610080804.6 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN106399943B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 薛在完;姜有珍;金东昱;尹日燮;车龙俊 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
一种沉积源，包括坩埚，收纳沉积物质；第一加热器和第二加热器，布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开；以及第一防止变形部件，在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间，并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合。
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